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HORIBA Flex-CLUE靈活型CL光譜儀儀器簡介：
電子束入射到樣品上，即可用光學方法接收并分析陰發(fā)光（CL），從而提供樣品詳細的物理特性。它是一種無損的分析方法，結合電鏡可提供與形貌相關的高空間分辨率光譜結果，是納米結構和體材料的*分析工具。
Flex-CLUE是一款高性能的CL分析儀器，適用于廣泛的應用領域。它基于光纖傳輸，是適用于有限空間的集成化系統(tǒng)。
原理圖
HORIBA Flex-CLUE靈活型CL光譜儀主要特點：
● 光纖耦合
● 高效CL信號收集
● 掃描成像、線掃描、點測量
● 多種光柵選項
● 多種焦長光譜儀選項：140mm-320mm
● 光譜范圍：200nm-1000nm或400nm-1700nm
重點應用領域：
陰發(fā)光光譜儀（CL）是用來表征材料中的缺陷，元素和雜質追蹤的強大分析工具，廣泛適用于各個應用領域。
1、材料科學
● 半導體和光電材料
● 介電/陶瓷
● 氧化物膜
● 玻璃
2、礦物、地質
● 碳酸巖
● 晶體
● 金剛石
● 鋯石、方解石、白云石
3、生命科學
CL光譜及成像：
| CL光譜：使用CL測量光譜時，可在電鏡下觀察并選擇待測樣品區(qū)域。 | 快速CL成像：將掃描電子束與您的光譜儀同步，提供快速成像方案。使用HCLUE系統(tǒng)測量的GaN樣品，測量中使用了超快SWIFTTM成像模式。 |
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| 礦物樣品中的白云石和磷酸鈣。測量使用Flex-CLUE系統(tǒng)，配備iHR320光譜儀和開放電式CCD探測器。感謝Prof A. Jambon, UPMC France提供數據 | 左圖：使用偽彩色顯示350nm-450nm之間發(fā)射光譜區(qū)。figure 1, Hyperspectral CL mapping 中圖：電鏡下的樣品圖像。figure 2, SE image 右圖：對應的光譜，其中不同色彩區(qū)域與左圖中顯示的顏色對應。figure 3, CL spectral (RGB) |
